壓力感測器超載後果和簡單的保護方法

 

     壓力感測器有很多參數指標,其中有一項是超載保護,超載就是負荷過大,超過了設備本身的額定負載,產生的現象是電流過大,用電設備發熱,線路長期超載會降低線路絕緣水準,甚至燒毀感測器設備或線路;超載保護就是即使負荷超過了額定負載也不會出現燒壞線路的情況,但是也有一個度,一般是150%的範圍內,而且不能持續超載工作。

 

 

    壓力感測器有很多形式,每種結構形式的超載保護設計方法也是各不相同的,眾多方法都有各自的優點和缺點,採用MEMS 技術的小量程、高靈敏壓力感測器通 常有平膜、島膜、梁膜等結構,在設計超載保護時,一般採用凸台等方法實現,形成方法有背部刻蝕技術、矽直接鍵合技術、玻璃刻蝕技術等。然而這些結構一般都 有一個很大的局限性就是腔體尺寸較大,進一步提高靈敏度受到限制,而且降低了矽片利用率,增加了製造工藝的複雜度,提高了生產成本。

 

    目前,小量程、高靈敏壓力感測器的研究熱點集中在犧牲層結構壓力感測器,這主要是因為犧牲層結構壓力感測器彈性膜片很薄,厚度可做到2 μm,甚至更薄。在這樣薄的結構上,如果採用擴散矽或多晶矽薄膜作為犧牲層結構壓力感測器的應變電阻,其厚度相對較大,對彈性膜片應力分佈影響很大,不利於犧牲層結構壓力感測器的性能優化,因此採用多晶矽納米薄膜製作應變電阻更能發揮犧牲層技術的優點。

  

 

    超載保護是每種感測器都要考慮的,因為在使用過程中可能會出現測量值大於量程的情況,只有設計了超載保護的感測器才能更好的使用,也才能使用得更久。具體每種感測器的超載保護是如何設計的,超載範圍是多少都是不同的,所以不管是買哪種感測器一定要瞭解它的超載保護是多少,這樣才能更好的方便使用,在未來使用過程中也不會出現由於超載燒壞電路的情況。以上便是為大家介紹壓力感測器的超載後果和保護方法。

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